|
工作流程
|
人工取放板，自動對位曝光
|
|
適用制程
|
外層干膜（內層兼用）
|
|
感 光 劑
|
干膜/內層濕膜
|
|
光源類型
|
UV-LED平行光源
|
|
曝光方式
|
雙面同時曝光
|
|
解 析 度
|
50um/50um
|
|
曝光時間
|
≤6-12S，與曝光干膜需求能量有關
|
|
玻璃前照度
|
30-50mw/cm²
|
|
平行半角
|
≤2°
|
|
傾斜角
|
≤3°
|
|
均 勻 度
|
≥88%（Min/Max*100%）
|
|
對位精度
|
±12.5um
|
|
曝光控制
|
光強10-100%可設調
|
|
最大生產尺寸
|
21.5*24.5"，546*622mm
（24.5*28.5"，622*711mm可選） |
|
最小尺寸
|
254 x 305mm
|
|
板厚范圍
|
0.1~3.2mm
|
|
菲林尺寸
|
24*26" 菲林
(26*30"菲林可選） |
|
光源功率
|
≤ 3kw
|
|
光源波長
|
385nm
|
|
LED冷卻
|
水冷（可自帶500w小型冰水機或使用客戶中央冰水）
|
|
LED燈壽命
|
保用3年
|
|
控制系統
|
雙PC系統+運動控制卡+伺服系統
|
|
對位方式
|
套Pin自動對位
|
|
套Pin直徑
|
n3.175mm,其它尺寸可選
|
|
相機數量
|
4個
|
|
光學玻璃
|
高強度物理鋼化玻璃
|
|
真空范圍
|
可調 0~-650mm Hg
|
|
人機界面
|
中文觸摸式PC顯示屏
|
|
臺面溫度
|
22±1℃（可設定）
|
|
保護功能
|
LED電流異常報警 |
|
無塵要求
|
Class10,000
|
|
空壓需求
|
5.5kg/cm2 n12mm,60L/min，
|
|
冷卻要求
|
壓力≥1kg，流量60L/min
溫度7-12°C，3/4"外牙配管 |
|
環境要求
|
溫度：20±3℃ |
|
設備尺寸
|
2650*1450*2000mm
|
|
設備重量
|
1500KG
|
